Proceso specialios dujos, naudojamos TFT-LCD gamybos procese CVD nusodinimo procese: silanas (S1H4), amoniakas (NH3), fosforas (pH3), juokas (N2O), NF3 ir kt., o be proceso proceso Aukšto grynumo vandenilis ir didelio grynumo azotas bei kitos didelės dujos.Purškimo procese naudojamos argono dujos, o pagrindinė dulkinimo medžiaga yra purškiančios plėvelės dujos.Pirma, plėvelę sudarančios dujos negali chemiškai reaguoti su taikiniu, o tinkamiausios dujos yra inertinės dujos.Taip pat ėsdinimo procese bus naudojamas didelis kiekis specialių dujų, o elektroninės specialiosios dujos dažniausiai yra degios ir sprogios, o labai toksiškos dujos, todėl reikalavimai dujų keliui yra aukšti.Wofly Technology specializuojasi ypač didelio grynumo transportavimo sistemų projektavimo ir montavimo srityje.
Specialios dujos daugiausia naudojamos LCD pramonėje plėvelės formavimo ir džiovinimo procesams.Skystųjų kristalų ekranas turi platų klasifikavimą, kuriame TFT-LCD yra greitas, vaizdo kokybė aukšta, o kaina palaipsniui mažinama, o šiuo metu naudojama plačiausiai naudojama LCD technologija.TFT-LCD skydelio gamybos procesą galima suskirstyti į tris pagrindinius etapus: priekinį masyvą, vidutinės orientacijos dėžės procesą (CELL) ir modulio surinkimo procesą po etapo.Elektroninės specialios dujos daugiausia dedamos į ankstesnio matricos proceso plėvelės formavimo ir džiovinimo etapą, o atitinkamai nusodinama SiNX nemetalinė plėvelė, užtvaras, šaltinis, kanalizacija ir ITO, o metalinė plėvelė, pvz., vartai, šaltinis,drainandITO.
Paskelbimo laikas: 2022-01-13