1 | Maksimalus darbinis slėgis 20,6 Mpa. |
2 | Maks.darbinė temperatūra 204 ℃ (aukštos temperatūros aplinka iki 454 ℃, šiuo metu sandarinimo medžiaga pakeičiama išplėstu grafitu) |
3 | Filtrų sistema Pritaikomi kietųjų dalelių teršalai, dujos, skysčiai. |
4 | Nerūdijančio plieno miltelių metalurgijos sukepinto filtro filtro tikslumas 2μm ~ 40μm |
5 | Filtro srautas 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filtras gali būti keičiamas. |
Filtro produkto savybės
1 | Platus pritaikymo diapazonas, srauto diapazonas nuo 15 iki 300 SL / min. |
2 | Jis gerai suderinamas su daugeliu didelio grynumo puslaidininkių proceso dujų. |
3 | 3 nanodalelių filtravimo pajėgumas palaiko aukštą srauto efektyvumą ir itin mažą slėgio kritimą. |
4 | 5Ra elektropoliruotas paviršius gali užkirsti kelią vidinei taršai. |
5 | Kepkite karštu azotu po dejonizuoto vandens, kad atitiktumėte puslaidininkių proceso standartus. |
6 | 1000 lygio aseptinių dirbtuvių gamybos, valymo ir pakavimo aplinka be dulkių. |
7 | Patikrinkite, ar nėra 100% helio nuotėkio. |
Įvadas | Išleidimo anga | |
1 | 1/8″ vamzdžio jungtis | 1/8″ vamzdžio jungtis |
2 | 1/4″ vamzdžio jungtis | 1/4″ vamzdžio jungtis |
3 | 3/8″ vamzdžio jungtis | 3/8″ vamzdžio jungtis |
4 | 1/2″ vamzdžio jungtis | 1/2″ vamzdžio jungtis |
5 | 6 mm vamzdžio jungtis | 6 mm vamzdžio jungtis |
6 | 8 mm vamzdžio jungtis | 8 mm vamzdžio jungtis |
7 | 10 mm vamzdžio jungtis | 10 mm vamzdžio jungtis |
8 | 12 mm vamzdžio jungtis | 12 mm vamzdžio jungtis |
9 | 1/8″ moteriškas NPT | 1/8″ moteriškas NPT |
10 | 1/4″ moteriškas NPT | 1/4″ moteriškas NPT |
11 | 1/4″ vyriškas NPT | 1/4″ vyriškas NPT |
12 | 3/8″ vyriškas NPT | 3/8″ vyriškas NPT |
13 | 1/2″ vyriškas NPT | 1/2″ vyriškas NPT |
Filtro gaminio našumo parametrai
1 | Filtravimo tikslumas | ≥0,0025 μm | |
2 | Filtravimo efektyvumas | Pašalinimo greitis99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Vardinis srautas | 15L/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Filtro sudėtis | filtro elementas | 316L/PTFE |
9 | būstą | nerūdijančio plieno 316L | |
10 | Darbo sąlygos | Maksimalus įėjimo slėgis | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Maksimalus slėgio skirtumas | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Maksimali darbinė temperatūra | 430 ℃ (inertinės dujos) | |
13 | Helio nutekėjimo greitis | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Paviršiaus apdaila | ≤Ra 5μin |