Uodegos dujų apdorojimo įranga gali valdyti dujas, naudojamas ėsdinimo procesuose ir cheminio garų nusėdimo procesuose puslaidininkių, skystųjų kristalų ir saulės energijos pramonėje, įskaitant SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O ir panašiai.
Išmetimo dujų apdorojimo metodas
Remiantis išmetamųjų dujų apdorojimo charakteristikomis, gydymą galima suskirstyti į keturias gydymo rūšis:
1. Vandens plovimo tipas (ėsdinančių dujų apdorojimas)
2. Oksidavimo tipas (susijęs su degiomis ir toksiškomis dujomis)
3. Adsorbcija (pagal adsorbcijos medžiagos tipą, skirtą apimti atitinkamas išmetamųjų dujų dujas).
4.Plazmos degimo tipas (galima apdoroti visų rūšių išmetamųjų dujų tipus).
Kiekvienas gydymo būdas turi savo pranašumus ir trūkumus bei taikymo sritį. Kai gydymo metodas yra vandens plovimas, įranga yra pigi ir paprasta ir gali valdyti tik vandenyje tirpias dujas; Elektrinio vandens skalbimo tipo taikymo diapazonas yra didesnis nei vandens skalbimo tipo, tačiau operacijos kaina yra didelė; Sausas tipas turi gerą apdorojimo efektyvumą ir netaikomas dujų srautui, kurį lengva užsikimšti ar tekėti.
Chemikalai ir jų šalutiniai produktai, dažniausiai naudojami puslaidininkių pramonėje, gali būti suskirstyti į kategorijas pagal jų chemines savybes ir skirtingus jų diapazonus:
1. Degios dujos, tokios kaip SIH4H2 ir kt.
2. Toksiškos dujos, tokios kaip ASH3, PH3 ir kt.
3. Korozinės dujos, tokios kaip HF, HCl ir kt.
4. Šiltnamio efektą sukeliančios dujos, tokios kaip CF4, NF3 ir kt.
Kadangi minėtos keturios dujos yra kenksmingos aplinkai ar žmogaus kūnui, jos turi užkirsti kelią jos tiesioginei emisijai į atmosferą, todėl bendras puslaidininkių augalas yra montuojamas su didele centralizuotos išmetamųjų dujų apdorojimo sistema, tačiau ši sistema yra tik vandens šveitimo išmetimas, todėl jo taikymas yra ribojamas ilgalaikiais vandenyje tirpesnėmis dujomis ir negalima spręsti nuolat keblios ir supjaustytos semiklaisio proceso dujomis. Todėl reikia pasirinkti ir suderinti atitinkamą išmetamųjų dujų apdorojimo įrangą pagal dujų charakteristikas, gautas iš kiekvieno proceso, kad būtų galima išspręsti išmetamųjų dujų problemą nedideliu būdu. Kadangi darbinė zona dažniausiai yra atokiau nuo centrinės išmetamųjų dujų apdorojimo sistemos, dažnai dėl dujų charakteristikų sukelia kristalizaciją ar dulkių kaupimąsi vamzdyne, todėl vamzdyną užsikimšite, dėl kurių dujotiekis nutekėjo, o rimtais atvejais net ir sukelia sprogimą, negali užtikrinti, kad vietos darbuotojų saugumas būtų saugus. Todėl darbo vietoje reikia sukonfigūruoti nedidelę išmetamųjų dujų apdorojimo įrangą, tinkančią proceso dujų ypatybėms, kad būtų sumažintos sustingusios išmetimo dujos darbo vietoje, kad būtų užtikrintas personalo saugumas.
Pašto laikas: 2012 m. Rugpjūčio 10 d