Skirtingoms cheminėms medžiagoms ir dujoms, naudojamoms puslaidininkių gamyboje, reikia tvirtų skysčių sistemų, kad būtų galima nepertraukiamai tiekti kiekviename gamybos etape. Šios skysčių sistemos turi sugebėti palaikyti kraštutines proceso sąlygas, reikalingas puslaidininkių gamybai, tuo pačiu užtikrinant švarų, be nuotėkio ir kontroliuojamą procesą. Todėl skysčių sistemos komponentų pasirinkimas yra labai svarbus tikslumo puslaidininkių gamybos procese.
Aukštos kokybės skysčių sistemos komponentų pasirinkimas yra padidėjusio gamybos efektyvumo ir sumažėjusio sistemos prastovos sinonimas. Kalbant apie puslaidininkių gamybos procesą, aptarsime skysčių sistemos komponentų kritinį vaidmenį ir jų patikimumo svarbą.
Skysčių sistemos komponentų svarba puslaidininkių gamyboje
Skysčių sistemos komponentai puslaidininkių gamyboje apima skirtingą cheminį maišymą, pervežimo ir valdymo sistemas, skirtas saugiai gabenti cheminius skysčius kontroliuojamoje aplinkoje. Ideali skysčių sistema turi:
➢ Vienodas cheminis maišymas
➢Contaminacijos kontrolė
➢Temperatūra ir slėgio kontrolė
➢Ninternlrupted Chemical Supply
Tik aukščiausios kokybės komponentai gali sudaryti tokias idealias sąlygas puslaidininkių skysčių sistemoje. Tokių komponentų naudojimo pranašumai apima:
Tikslūs: tokios komponentai kaip vožtuvai, reguliatoriai ir siurbliai veikia kartu, kad būtų užtikrinta, jog tinkama cheminės medžiagos dalis būtų pristatyta į gamybos ląstelę. Tikslūs įvestys pašalina srauto pokyčių riziką, o tai pagerina galutinio produkto kokybę.
Suderinamumas ir švara: skysčių sistemos komponentai su medžiagų kompozicijomis, suderinamomis su proceso skysčiais, sumažina užteršimo riziką. Be to, šių skysčių sistemos komponentų įrengimas be nuotėkio sumažina kietųjų dalelių teršalus, užtikrinančius švarią ir kontroliuojamą gamybos aplinką, kad būtų galima patobulinti derlių.
Sauga: dujų gamyboje naudojamos dujos ir cheminės medžiagos gali pakenkti žmonių sveikatai. Tačiau skysčių sistemos komponentai, skirti užkirsti kelią nuotėkiams ir išsiliejusiems, gali saugiai ir kontroliuojamai tiekti šiuos skysčius gamybos įrenginiams.
Efektyvumas: Aukštos kokybės skysčių sistemos komponentų konstrukcija be nuotėkio ir tiksli kontrolė sumažina veiklos prastovos ir dažno priežiūros reikalavimus, skatindami sklandų, efektyvų gamybą, kad būtų pasiektos gamybos tikslai.
Kokybės pagamintos skysčių sistemos komponentų sprendimai
Skysčių sistemos komponentams reikalingi aukštos kokybės įrenginiai, kad būtų patenkinti puslaidininkių gamybos iššūkiai. Pagrindiniai komponentai, darantys įtaką FAB, apima:
Vožtuvai: aukšto našumo vožtuvai, tokie kaip diafragma, dumplės ar adatų vožtuvai, idealiai reguliuoja skysčių srautą gamybos įrenginiuose. Patvarūs, aukštos kokybės vožtuvai suteikia tikslumą ir valdymą, reikalingą norint pagerinti gamybos ir valdymo procesų efektyvumą kritiniam puslaidininkių gamybai.
Jungiamosios detalės: Vamzdžių ir žarnų sistemų ir kitų kritinių komponentų didelės grynumo jungiamosios detalės suteikia sandarias jungtis, kad padidintų skysčių sistemos komponentų saugumą ir grynumą.
Žarnos: Tikslioms gamybos reikalavimams izoliuotos žarnos padeda šiluminiam valdymui, kad būtų galima optimaliai palaikyti proceso sąlygas gamybos kambaryje. Tai svarbu, nes menkiausias temperatūros svyravimas gali sugadinti drožles ir sukelti gamybos atliekas.
Lankstus vamzdelis: jei sąlygos leidžia, lankstus vamzdelis gali būti naudojamas norint sumažinti jungiamųjų detalių skaičių skysčių sistemos komplekte. Vamzdeliai yra sulenkti, norint gauti norimą skysčio kelią. Mažiau jungiamųjų detalių reiškia mažesnę nuotėkio ir pažeidimų riziką dėl vibracijos ir judėjimo.
Reguliatoriai: Reguliatoriai veiksmingai kontroliuoja slėgį kiekviename puslaidininkių gamybos proceso etape. Nuolatinis ir tikslus srautas pasiekia pastovų, aukštos kokybės derlių, vengiant iššvaistytų skysčių cheminių medžiagų ir specializuotų medžiagų.
Filtrai: viena dalelė gali turėti įtakos puslaidininkio veikimui. Naudojant ypač aukštą grynumo filtrą, jis pašalina dalelių užteršimą ir sumažina lusto pažeidimus.
Skysčių sistemos efektyvumas puslaidininkių gamyboje gali būti pasiektas naudojant AFK-LOK plačią aukštos kokybės vožtuvų, jungiamųjų detalių, reguliatorių, žarnų ir filtrų asortimentą.
Pašto laikas: 2012 m. Spalio-09 d