Dujų pramonė puslaidininkių pramonėje

Dujų naudojimas puslaidininkių pramonėje datuojamas 1950–1960 m. Pradžioje. Puslaidininkių gamybos proceso metu dujos daugiausia naudojamos valyti ir apsaugoti puslaidininkių medžiagas, kad būtų užtikrintas jų grynumas ir kokybė. Tarp dažniausiai naudojamų dujų yra azotas ir vandenilis.

Tobulėjant puslaidininkių technologijoms ir toliau tobulėjo gamybos procesai, dujų paklausa padidėjo. 1970 m. Tolesnis puslaidininkių gamybos technologijos plėtra, dujų taikymas pagrindiniuose procesuose, tokiuose kaip ėsdinimas ir plonų plėvelių nusėdimas, palaipsniui didėjo, o fluoro dujos (pvz. 1980 m. Dar labiau padidėjo dujų paklausa, plėtojant integruotas grandines ir padidėjus jų paklausai. Vandenilis buvo plačiai naudojamas gamybos procese, įskaitant vandenilio atkaitinimo ir vandenilio garų nusėdimą. Ir nuo 1990 m. Iki šių dienų didelio grynumo dujų ir specifinių dujų paklausa padidėjo, nes puslaidininkių prietaisų dydis ir toliau mažėjo ir buvo įvesti nauji procesai. Pavyzdžiui, norint pritaikyti ekstremalią ultravioletinę litografiją (EUV), reikia naudoti ypač didelio grynumo dujas, tokias kaip azotas ir vandenilis.

Puslaidininkių dujos ir toliau didėja kuriant susijusius produktus, kuriuos sukelia vis daugiau produktų, o dujos taip pat priklauso pavojaus šaltiniui, todėl atsirado produktai, naudojami dujų dekompresijai, dujų aptikimo produktams ir užkirsti kelią dujų nutekėjimo produktams, tokiems kaip slėgio reguliatoriai, dujų vožtuvai, dujų slėgio matuokliai, dujų nuotėkio detektorius ir kt.

Slėgio reguliatoriai: Slėgio reguliatoriai yra prietaisai, naudojami dujų slėgiui valdyti. Paprastai juos sudaro reguliatoriaus vožtuvas ir slėgio jutiklis. Slėgio reguliatoriai paima aukšto slėgio dujų įvestį ir stabilizuoja išėjimo dujų slėgį, sureguliuodami vožtuvą, kad atitiktų konkrečius taikymo reikalavimus. Slėgio reguliatoriai yra plačiai naudojami tokiose vietose kaip pramonė, gamyba ir laboratorijos, taip pat puslaidininkių pramonėje, be kita ko, siekiant užtikrinti dujų tiekimo stabilumą ir saugumą.

Dujų vožtuvai: dujų vožtuvai naudojami dujų srautui valdyti ir uždaryti dujų praėjimus. Paprastai jie turi įjungimo/išjungimo funkciją, kuri atidaro arba uždaro dujų srautą. Yra įvairių tipų dujų vožtuvai, įskaitant rankinius vožtuvus, elektrinius vožtuvus ir pneumatinius vožtuvus. Jie plačiai naudojami dujų sistemose, kad būtų galima kontroliuoti dujų srautą, slėgį ir srautą.

Dujų slėgio matuokliai: dujų slėgio matuokliai naudojami dujų slėgio lygiui matuoti. Paprastai jie yra montuojami kritinėse dujų sistemų vietose, kad būtų galima stebėti slėgio pokyčius ir užtikrinti, kad jie neviršytų saugių ribų. Dujų slėgio matuokliai yra plačiai naudojami pramonės, gamybos ir laboratorijose, taip pat dalyvavo puslaidininkių pramonė.

Dujų nuotėkio detektoriai: Dujų nuotėkio detektoriai naudojami nuotėkių aptikti dujų sistemose. Jie nustatoDujų nutekėjimo buvimas ir garso signalas, kad būtų galima laiku imtis veiksmų, kad būtų išvengta nuotėkio avarijų. Dujų nuotėkio detektoriai yra plačiai naudojami pramoniniame, chemijos, naftos ir dujų programose, taip pat dalyvavo puslaidininkių pramonė.