Augant puslaidininkių rinkai, grynumo ir tikslumo standartai tampa griežtesni. Vienas iš lemiamų puslaidininkių gamybos kokybės veiksnių yra procese naudojamos dujos. Šios dujos vaidina daugybę vaidmenų gamybos procese, įskaitant:
Tikslus proceso valdymas
Užteršimo prevencija
Metalurginio turto patobulinimas
Norint efektyviai atlikti šiuos vaidmenis, dujų tiekimo ir paskirstymo sistema turi būti efektyvi. Puslaidininkių gamyboje naudojamų dujų tvarkymo sistemų projektavimas turi būti palaikomas tvirtų komponentų ir pritaikytų rinkinių, kad būtų užtikrintas patikimas ir aukštos kokybės puslaidininkių gamyba.
Dujos, naudojamos puslaidininkių gamyboje
Puslaidininkių gamybos procesui reikia naudoti skirtingas dujas skirtinguose proceso etapuose.
Nors įprastos dujos, tokios kaip azotas, vandenilis, argonas ir helis, gali būti naudojamos gryna forma, tam tikriems procesams gali prireikti specializuotų mišinių. Silanai arba siloksanai, heksafluoridai, halogenidai ir angliavandeniliai yra kelios specializuotos dujos, naudojamos puslaidininkių gamyboje. Daugelis šių dujų gali būti pavojingos ar labai reaktyvios, sukeldami iššūkius renkantis ir projektuojant dujų sistemų komponentus.
Štai keletas pavyzdžių:
\ Vandenilis ir helis gali lengvai nutekėti iš vamzdynų ir montavimo sistemų dėl jų mažo atominio dydžio ir svorio.
\ Silanai yra labai degi ir gali spontaniškai deginti (autognitas) ore.
\ Nitrogeno difluoridas, naudojamas nusodinimo, ėsdinimo ir kameros valymo stadijose, tampa stipriomis šiltnamio efektą sukeliančiomis dujomis, kai jos nutekės į aplinką.
\ Vandenilio fluoras (oforto dujos) yra labai ėsdina į metalo vamzdynus.
\ Trimetilgallum ir amoniaką gali būti sunku sutvarkyti - nedideli jų temperatūros svyravimai ir slėgio poreikiai gali paveikti nusėdimo procesą.
Kontroliuojant proceso sąlygas, kad būtų sumažintas neigiamas šių dujų poveikis, turi būti svarbiausias prioritetas sistemos projektavimo metu. Ne mažiau svarbu naudoti aukščiausios kokybės komponentus, tokius kaip AFK diafragmos vožtuvai, kai kuriant procesą.
Sistemos projektavimo iššūkių sprendimas
Puslaidininkių laipsnio dujos daugeliu atvejų yra aukšto grynumo ir suteikia inertinių sąlygų arba sustiprina reakcijas skirtinguose gamybos proceso etapuose, tokiuose kaip ėsdinimo ir nusėdimo dujos. Tokių dujų nutekėjimas ar užteršimas gali turėti neigiamo poveikio. Todėl labai svarbu, kad sistemos komponentai būtų atsparūs hermetiškai sandariai ir korozijai, taip pat turi sklandų paviršiaus apdailą (elektrolitinį poliravimą), kad būtų užtikrinta, jog nėra užteršimo ir kad būtų galima išlaikyti ypač aukštą švaros lygį.
Be to, kai kurias iš šių dujų galima pašildyti arba aušinamos, kad būtų pasiektos norimos proceso sąlygos. Tinkamai izoliuoti komponentai užtikrina temperatūros valdymą, kuris yra labai svarbus norint efektyviai atlikti galutinį produktą.
Nuo šaltinio įleidimo iki naudojimo taško, platus AFK komponentų asortimentas palaiko ypač aukštą grynumą, temperatūrą, slėgį ir srauto valdymą, reikalingą puslaidininkių švaresniuose kambariuose ir vakuuminėse kamerose.
Suprojektuotos sistemos su kokybiškais komponentais puslaidininkių fabs
Kokybės komponentų vaidmuo ir dizaino optimizavimas yra labai svarbus norint tiksliai valdyti ir saugiai gaminti puslaidininkius. Naudojami komponentai turi būti tvirti ir be nuotėkio, kad atitiktų skirtingas proceso sąlygas, reikalingas skirtinguose gamybos etapuose.
Ypač aukštas grynumas
Sandrentės be nuotėkio
Temperatūros kontroliuojama izoliacija
Slėgio valdymas
Atsparumas korozijai
Elektrolitinis poliravimo apdorojimas
Pašto laikas: 2012 m. Spalio-09 d