Į elektroninių specializuotų dujų gamybos procesą sudaro keli procesai, tokie kaip sintezė, apsivalymas, užpildymas, analizė ir bandymai, maišymas ir proporcija. Norint patenkinti paskesnius puslaidininkių gamybos reikalavimus grynumo ir priemaišų turiniui, valymo procesas yra labai svarbus. Priklausomai nuo aukštupio sintezės dujų ar neapdorotų dujų sudėties, atliekamas distiliavimas žemoje temperatūroje arba daugiapakopis valymas.
Aukštos švaros reikalavimai
Elektroninių specialių dujų paruošimo procesą galima suskirstyti į du pagrindinius aukštupio sintezės paruošimo ir gryninimo, kuris priklauso cheminės gamybos procesui, blokus. Gamybos vamzdyno dydis yra didelis, ir nėra specialaus švaros lygio reikalavimo. Po valymo pasroviui produktas užpildytas dujomis ir sumaišomas paruošti. Gamybos vamzdynas yra mažas ir turi švaros lygio reikalavimus. Jis turi atitikti standartinę puslaidininkių gamybos proceso specifikaciją.
Aukšti sandarinimo reikalavimai
Dėl jų cheminio aktyvumo elektroninės specialiosios dujos taip pat kelia didelius reikalavimus medžiagoms ir sandarinimui gamybos proceso sistemai. Kaip ir puslaidininkių gamybos reikalavimai, jis apsaugo nuo sąsajos nuotėkio, kurį sukelia priemaišų įvedimas ar specialių dujų korozija. Sistema taip pat gali būti naudojama siekiant užkirsti kelią priemaišų įvedimui ar sąsajos nutekėjimui, kurį sukelia specialių dujų korozija.
Aukštos kokybės stabilumo reikalavimai
Elektroninių specializuotų dujų kokybė apima keletą rodiklių, tokių kaip grynumas ir priemaišų dalelių kiekis. Bet koks rodiklių pokytis turės įtakos pasroviui esančio puslaidininkių gamybos proceso rezultatams. Todėl, norint užtikrinti elektroninių specialių dujų produktų indikatorių nuoseklumą, labai svarbu paruošimo proceso sistema, skirta kontroliuoti rodiklių stabilumą.
Dėl EGP cheminio aktyvumo ir kokybės reikalavimų, EGP paruošimo, ypač paskesnės valymo sistemos, gamybos sistema turi atitikti aukšto grynumo medžiagų, didelio sandarinimo, aukštos švaros ir aukštos kokybės nuoseklumo reikalavimus, o inžinerinių komponentų statyba turi atitikti puslaidininkių gamybos pramonės standartus.
Tai, ką mes paprastai vadiname „dideliu grynumu“, teoriškai yra medžiagos grynumo apibrėžimas, pavyzdžiui, didelis grynumo dujos, aukšto grynumo chemikalų ir kt. Proceso sistemos ar proceso sistemos komponentai, naudojami didelio grynumo medžiagoms, taip pat vadinamas dideliu grynumu, pavyzdžiui, didelio grynumo sistemos ir aukšto stiprumo vožtuvai. Elektroninėms specializuotoms dujų paruošimo sistemoms reikalingi aukšto grynumo pritaikymo detalės, vožtuvai ir kiti skysčių komponentai, ty jungiamosios detalės ir vožtuvai, apdorojami didelio grynumo medžiagomis ir švariais gamybos procesais, ir yra struktūrizuotos, kad būtų lengva valyti ir valyti. Su aukštu sandarinimo veikimu. Šie skysčių komponentai yra skirti atitikti programos proceso srauto kelią, naudojant puslaidininkių pramonės inžinerijos ir statybos reikalavimus.
Aukšto grynumo vamzdynų jungtys
VCR metalinio tarpiklio paviršiaus sandariklio jungtys ir automatinis kreipiamasis užpakalinis suvirinimo jungtys yra plačiai naudojamos reikalaujant skysčių sistemos grynumo proceso reikalavimų dėl galimybės patenkinti tiek sklandų srauto kelio perėjimą jungtyje, be sąstingio zonos, tiek aukšto sandarinimo efektyvumo. Pakartojamas ir nuoseklus jungtis ir sandarinimo efektyvumas užtikrinamas kiekvieną kartą, kai deformuotas tarpiklis pašalinamas ir pakeičiamas.
Vamzdžiai suvirinami naudojant automatinę orbitos suvirinimo sistemą. Vamzdis yra apsaugotas didelio grynumo dujomis iš vidaus ir išorės. Volframo elektrodas sukasi išilgai orbitos, kad būtų aukštos kokybės suvirinimas. Visiškai automatizuotas orbitos suvirinimas ištirpina vamzdį, neįvedant kitų medžiagų, naudojant aukštos kokybės suvirinimą pakartotinai kontroliuojant plonos sienos vamzdį, sunku pasiekti rankiniu suvirinimu.
VCR metalo tarpiklio paviršiaus sandariklio jungtis
Automatinis vamzdžių suvirinimo orbitos suvirinimo jungtis
Aukštos grynumo vožtuvai
Cheminis degių, sprogstamųjų, ėsdinančių ir toksiškų elektroninių specialių dujų aktyvumas kelia didelius poreikius antspauduoti vožtuvą. Norint pagerinti sandarinimo patikimumą, nereikalaujant vožtuvų, kad būtų išvengta išorinio nuotėkio, tai yra, vožtuvo koto ir vožtuvo korpuso veikimo tarp sandariklio, naudojant metalines dumples ar metalinę diafragmą, perjungimo veikimą, kad būtų pašalintas nuotėkis dėl dilimo ir pakavimo sandariklio deformacijos. Dumalūs ir diafragmai užlieti vožtuvai dažniausiai naudojami proceso sistemose, kad būtų galima naudoti didelio grynumo pritaikymą dėl didesnio sandariklių patikimumo ir lengvesnio vožtuvo vidaus valymo ir valymo pakeitimo.
Dumalūs vožtuvai yra be pakuotės adatos vožtuvo konstrukcija, leidžianti lėtai atidaryti ir srautą reguliuoti. Naudojamas elektroninėms specializuotoms dujų įdarui su saugos srauto reikalavimais arba ant pirmtako šaltinio buteliuose, kuriuose yra didelių saugos reikalavimų. Viso metalo stiebo antspaudai leidžia pasiekti ypač žemą veikimo temperatūrą ir yra naudojami kriogeniniam elektroninių specializuotų dujų suskystinimui gatavų produktų rezervuaruose po kriogeninio distiliavimo vamzdynams.
„Springless Diafragm“ sandariklio vožtuvas yra 1/4 ″ „Snap-Open“ vožtuvas, skirtas naudoti kaip automatiškai valdomas perjungimo vožtuvas pristatymo vamzdynuose. Jie dažniausiai naudojami ypač aukšto slėgio, didelio grynumo pritaikymuose dėl jų paprasto vidinio srauto kelio, mažo vidinio tūrio ir lengvumo valyti ir pakeisti.
Diafragmos uždaryti vožtuvai, kurie uždaromi per stiebo galiuką, gali būti lėtai atsidarę ir būti naudojami esant didesniam darbiniam slėgiui nei nespausdinta diafragmos užklijuoti vožtuvai. Jie yra plačiai naudojami aukšto slėgio elektroniniame specializuotame dujų užpildyme arba pirmtako šaltinių buteliuose.
Antrinis ruonių dumplės vožtuvas gali būti naudojamas ne tik ypač žemose temperatūros proceso sistemose, esant –200 laipsnių, bet ir apsaugo nuo pavojingos terpės nutekėjimo į atmosferą. Paprastai naudojamos labai pavojingoms elektroninėms specialioms dujoms, tokioms kaip silano užpildymo sistema.
„Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd“, turintis daugiau nei 10 metų patirtį tiekiant pramonines ir specialias dujas, medžiagas, dujų tiekimo sistemas ir dujų inžineriją puslaidininkei, LED, DRAM, TFT-LCD rinkas, mes galime suteikti jums reikiamų medžiagų, kad jūsų produktai būtų nukreipti į pramonės priešakį. Mes galime ne tik tiekti platų vožtuvų ir jungiamųjų detalių asortimentą puslaidininkių elektroninėms specialioms dujoms, bet ir mūsų klientams suprojektuoti dujų vamzdynų ir įrangos įrengimą. Jei šioje srityje turite kokių nors poreikių, susisiekite su mumis 27919860.
Pašto laikas: 2012 m. Liepos 19 d