Technologiniai sprendimai didelio grynumo dujų tiekimo sistemoms puslaidininkių procesams

Didelio grynumo dujų vamzdynų technologija yra svarbi didelio grynumo dujų tiekimo sistemos dalis, kuri yra pagrindinė technologija, leidžianti tiekti reikalingas didelio grynumo dujas į naudojimo vietą ir išlaikyti kvalifikuotą kokybę;Didelio grynumo dujų vamzdynų technologija apima teisingą sistemos projektavimą, jungiamųjų detalių ir priedų parinkimą, konstravimą ir montavimą bei testavimą.Pastaraisiais metais vis griežtėjantys reikalavimai dėl didelio grynumo dujų grynumo ir priemaišų kiekio gaminant mikroelektronikos gaminius, kuriuos reprezentuoja didelio masto integriniai grandynai, vis labiau susirūpino ir akcentuoja didelio grynumo dujų vamzdynų technologiją.Toliau pateikiama trumpa didelio grynumo dujų vamzdynų apžvalga iš medžiagų pasirinkimoof statyba, taip pat priėmimas ir kasdienis valdymas.

Įprastų dujų rūšys

Elektronikos pramonėje paplitusių dujų klasifikacija：

Įprastos dujos(Masinės dujos）: vandenilis (H₂₎, azotas (N₂), deguonis (O₂), argonas (A₂) ir kt.

Specialios dujosyra SiH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… ir tt

Specialių dujų rūšys paprastai gali būti klasifikuojamos kaip ėsdinančiosdujų, toksiškasdujų, degūsdujų, degūsdujų, inertiškasdujųir tt Dažniausiai naudojamos puslaidininkinės dujos paprastai klasifikuojamos taip.

i) ėsdinantis / toksiškasdujų: HCl, BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, BCl₃… ir tt

(ii) Degumasdujų: H₂, CH₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,CH₃F, CO ir kt.

iii) degumasdujų: O₂, Cl₂, N₂O, NF₃… ir tt

(iv) Inertiškadujų: N₂, CF₄, C₂F₆, C₄F_8,SF₆, CO₂, Ne, Kr, Jis… ir kt.

Daugelis puslaidininkių dujų yra kenksmingos žmogaus organizmui.Visų pirma, kai kurios iš šių dujų, pavyzdžiui, SiH₄ savaiminis užsidegimas, kol nuotėkis smarkiai reaguos su ore esančiu deguonimi ir pradės degti;ir AsH₃labai toksiškas, bet koks menkas nuotėkis gali sukelti pavojų žmonių gyvybei, būtent dėl ​​šių akivaizdžių pavojų, todėl sistemos konstrukcijos saugumo reikalavimai yra ypač aukšti.

Dujų taikymo sritis  

Dujų gaminiai, kaip svarbi pagrindinė šiuolaikinės pramonės žaliava, plačiai naudojami, o daug įprastų dujų arba specialiųjų dujų naudojama metalurgijoje, plieno, naftos, chemijos pramonėje, mašinų, elektronikos, stiklo, keramikos, statybinių medžiagų, statybos pramonėje. , maisto perdirbimo, medicinos ir medicinos sektoriuose.Dujų naudojimas turi didelę įtaką ypač šių laukų aukštosioms technologijoms ir yra nepakeičiamos jų žaliavos dujos arba technologinės dujos.Tik atsižvelgiant į įvairių naujų pramonės sektorių ir šiuolaikinio mokslo bei technologijų poreikius ir skatinimą, dujų pramonės produktai gali būti tobulinami įvairove, kokybe ir kiekybe.

Dujų taikymas mikroelektronikoje ir puslaidininkių pramonėje

Dujų naudojimas visada vaidino svarbų vaidmenį puslaidininkių procese, ypač puslaidininkių procesas buvo plačiai naudojamas įvairiose pramonės šakose, nuo tradicinės ULSI, TFT-LCD iki dabartinės mikroelektromechanikos (MEMS) pramonės. kurios naudoja vadinamąjį puslaidininkinį procesą kaip gaminių gamybos procesą.Dujų grynumas turi lemiamos įtakos komponentų veikimui ir produktų išeigai, o dujų tiekimo sauga yra susijusi su personalo sveikata ir gamyklos darbų sauga.

Didelio grynumo vamzdynų reikšmė didelio grynumo dujų transporte

Lydant nerūdijantį plieną ir gaminant medžiagą, viena tona gali būti absorbuojama apie 200 g dujų.Apdorojus nerūdijantį plieną, ne tik jo paviršius, lipnus nuo įvairių teršalų, bet ir jo metalinės grotelės taip pat sugėrė tam tikrą kiekį dujų.Kai vamzdynu teka oras, metalas sugeria šią dujų dalį ir vėl pateks į oro srautą, užteršdamas grynas dujas.Kai oro srautas vamzdyje yra nenutrūkstamas, vamzdis adsorbuoja dujas esant slėgiui, o kai oro srautas nustoja praeiti, vamzdžio adsorbuotos dujos sudaro slėgio kritimą, kad ištirptų, o ištirpusios dujos taip pat patenka į grynas dujas vamzdyje. kaip priemaišos.Tuo pačiu metu adsorbcija ir skiriamoji geba kartojama, todėl vamzdžio vidinis paviršius taip pat gamina tam tikrą kiekį miltelių, o šios metalo dulkių dalelės taip pat užteršia grynas dujas vamzdžio viduje.Ši vamzdžio charakteristika yra būtina siekiant užtikrinti transportuojamų dujų grynumą, o tai reikalauja ne tik labai didelio vamzdžio vidinio paviršiaus lygumo, bet ir didelio atsparumo dilimui.

Kai naudojamos stipriai ėsdinančios dujos, vamzdynams turi būti naudojami korozijai atsparūs nerūdijančio plieno vamzdžiai.Priešingu atveju vamzdžio vidiniame paviršiuje dėl korozijos susidarys korozijos dėmės, o rimtais atvejais - didelis metalo nulupimo ar net perforacijos plotas, dėl kurio bus užterštos paskirstomos grynos dujos.

Didelio debito didelio grynumo ir švaros perdavimo ir skirstomųjų dujų vamzdynų prijungimas.

Iš esmės visi jie yra suvirinti, o naudojamų vamzdžių struktūra neturi keistis suvirinant.Medžiagos, kuriose yra per daug anglies, suvirinimo metu priklauso nuo suvirintų dalių oro pralaidumo, todėl dujos abipusiai prasiskverbia vamzdžio viduje ir išorėje ir sunaikinamas perduodamų dujų grynumas, sausumas ir švarumas, todėl prarandama visų mūsų pastangų.

Apibendrinant galima pasakyti, kad didelio grynumo dujotiekiams ir specialiems magistraliniams dujotiekiams būtina naudoti specialų didelio grynumo nerūdijančio plieno vamzdžių apdorojimą, sukurti didelio grynumo vamzdynų sistemą (įskaitant vamzdžius, jungiamąsias detales, vožtuvus, VMB, VMP) didelio grynumo dujų paskirstymas atlieka gyvybiškai svarbią misiją.

Bendroji perdavimo ir skirstomųjų vamzdynų švarios technologijos samprata

Labai grynas ir švarus dujų korpuso perdavimas su vamzdynais reiškia, kad yra tam tikri reikalavimai arba valdikliai trims transportuojamų dujų aspektams.

Dujų grynumas: priemaišų atmosferos kiekis g. Dujų grynumas: priemaišų atmosferos kiekis dujose, paprastai išreiškiamas dujų grynumo procentais, pvz., 99,9999%, taip pat išreiškiamas priemaišų atmosferos kiekio tūrio santykiu ppm, ppb, ppt.

Sausumas: drėgmės pėdsakų kiekis dujose arba kiekis, vadinamas drėgnumu, paprastai išreiškiamas rasos tašku, pvz., atmosferos slėgio rasos taškas –70.C.

Švara: dujose esančių teršalų dalelių skaičius, dalelių dydis µm, kiek dalelių/M3 išreikšti, suslėgtam orui, paprastai taip pat išreiškiamas kiek mg/m3 neišvengiamų kietųjų likučių, apimančių alyvos kiekį. .

Teršalų dydžio klasifikacija: teršalų dalelės, daugiausia susijusios su vamzdyno šveitimu, susidėvėjimu, korozija, kurią sukelia metalo dalelės, atmosferos suodžių dalelės, taip pat mikroorganizmai, fagai ir drėgmės turinčių dujų kondensacijos lašeliai ir kt., atsižvelgiant į jo dalelių dydį. yra padalintas į

a) Didelės dalelės – dalelių dydis viršija 5 μm

b) Dalelė – medžiagos skersmuo tarp 0,1μm-5μm

c) Ultramikro dalelės – dalelių dydis mažesnis nei 0,1 μm.

Siekiant pagerinti šios technologijos taikymą, kad būtų galima suvokti dalelių dydį ir μm vienetus, pateikiamas konkrečių dalelių būsenų rinkinys.

Toliau pateikiamas konkrečių dalelių palyginimas