Didelio grynumo dujų vamzdynų technologija yra svarbi didelio grynumo dujų tiekimo sistemos dalis, kuri yra pagrindinė technologija, skirta pristatyti reikiamas didelio grynumo dujas iki naudojimo taško ir vis tiek išlaikyti kvalifikuotą kokybę; Didelio grynumo dujų vamzdynų technologija apima teisingą sistemos dizainą, jungiamųjų detalių ir priedų pasirinkimą, konstrukciją ir montavimą bei bandymus. Pastaraisiais metais vis griežtesni reikalavimai dėl didelio grynumo dujų grynumo ir priemaišų turinio gaminant mikroelektronikos produktus, atstovaujamus didelio masto integruotose grandinėse, sukėlė didelio grynumo dujų vamzdynų technologiją vis labiau susirūpinusi ir pabrėžiama. Toliau pateikiama trumpa didelio grynumo dujų vamzdynų apžvalga iš medžiagų pasirinkimoof Statyba, taip pat priėmimas ir kasdienis valdymas.
Įprastų dujų tipai
Bendrų dujų klasifikavimas elektronikos pramonėje：
Bendros dujos（Birios dujos）: vandenilis (h2), azotas (n2), deguonis (o2), argonas (a2) ir kt.
Specialios dujosyra Sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, Bcl3 ,SIF4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… ir tt
Specialiųjų dujų rūšis paprastai galima klasifikuoti kaip ėsdinančiasdujos, toksiškasdujos, degusdujos, degidujos, inertinisdujosir tt Paprastai naudojamos puslaidininkinės dujos paprastai klasifikuojamos taip.
i) ėsdinantis / toksiškasdujos: HCl, BF3, Wf6, HBR, SIH2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3… Ir tt.
(ii) Degumasdujos: H2, Ch4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, CO… ir tt.
(iii) degumasdujos: O2, Cl2, N2O, nf3… Ir kt.
(iv) inertinisdujos: N2, Plg4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, kr, he… ir tt.
Daugelis puslaidininkių dujų yra kenksmingos žmogaus kūnui. Visų pirma, kai kurios iš šių dujų, tokių kaip SIH4 Spontaniškas degimas, kol nutekėjimas žiauriai reaguos su ore deguonimi ir pradės degti; ir pelenai3Labai toksiškas, bet koks nedidelis nutekėjimas gali sukelti žmogaus gyvybės riziką, todėl dėl šių akivaizdžių pavojų, todėl sistemos projektavimo saugumo reikalavimai yra ypač dideli.
Dujų taikymo apimtis
Kaip svarbi pagrindinė šiuolaikinės pramonės žaliava, dujų produktai yra plačiai naudojami, o metalurgijoje, pliene, naftos, chemijos pramonėje, mašinose, elektronikoje, stikluose, keramikose, statybinėse, gamykloje, maisto perdirbime, vaistų ir medicinos sektoriuose naudojami daugybė įprastų dujų ar specialių dujų. Dujų pritaikymas daro didelę įtaką aukštai šių sričių technologijoms ir yra nepakeičiamos žaliavos dujos arba proceso dujos. Tik atsižvelgiant į įvairių naujų pramonės sektorių ir šiuolaikinių mokslų bei technologijų poreikius ir reklamavimą, dujų pramonės produktus gali sukurti šuoliai ir ribos, atsižvelgiant į įvairovę, kokybę ir kiekį.
Dujų taikymas mikroelektronikos ir puslaidininkių pramonėje
Dujų naudojimas visada vaidino svarbų vaidmenį puslaidininkių procese, ypač puslaidininkių procesas buvo plačiai naudojamas įvairiose pramonės šakose, pradedant nuo tradicinės ULSI, TFT-LCD iki dabartinės mikroelektro-mechaninės (MEMS) pramonės, kurios visos naudoja vadinamąjį puslaidininkių procesą kaip gaminių gamybos procesą. Dujų grynumas daro lemiamą poveikį komponentų ir produktų pajamingumo veikimui, o dujų tiekimo saugumas yra susijęs su personalo sveikata ir augalų operacijų sauga.
Didelio grynumo vamzdynų reikšmė atliekant didelio grynumo dujų transportavimą
Nerūdijančio plieno tirpimo ir gamybos metu medžiagos gaminimas maždaug 200 g dujų gali būti absorbuojamas vienai tonui. Apdorojus nerūdijantį plieną, ne tik jo paviršius lipnus su įvairiais teršalais, bet ir metalinėje grotelėje absorbavo tam tikrą kiekį dujų. Kai per dujotiekį yra oro srautas, metalas sugeria šią dujų dalį vėl patekti į oro srautą, teršdamas grynas dujas. Kai oro srautas vamzdyje yra nenutrūkstamas srautas, vamzdis adsorbuoja dujas esant slėgiui, o kai oro srautas nustoja praeiti, dujos, adsorbuojamos vamzdžio, sudaro slėgio kritimą, o išspręstos dujos taip pat patenka į vamzdžio gryną dujų kiekį kaip priemaišų. Tuo pačiu metu adsorbcija ir skiriamoji geba kartojami, todėl metalas ant vidinio vamzdžio paviršiaus taip pat sukuria tam tikrą miltelių kiekį, o šios metalo dulkių dalelės taip pat užteršia gryną dujų vamzdžio vidų. Ši vamzdžio savybė yra būtina norint užtikrinti gabenamų dujų grynumą, kuriam reikia ne tik labai aukšto vamzdžio vidinio paviršiaus sklandumo, bet ir didelio atsparumo dilimui.
Kai naudojamos dujos, turinčios stiprią korozinį našumą, vamzdynams turi būti naudojami korozijai atsparūs nerūdijančio plieno vamzdžiai. Priešingu atveju vamzdis sukels korozijos vietas ant vidinio paviršiaus dėl korozijos, o rimtais atvejais bus didelis metalo nurišimo ar net perforacijos plotas, kuris užterštų paskirstytas grynas dujas.
Didelio grynumo ir didelio valymo dujų perdavimo ir didelių srautų greičių paskirstymo vamzdynų prijungimas.
Iš esmės visi jie yra suvirinami, o naudojami vamzdžiai turi nekeisti organizavimo, kai suvirinimas taikomas. Medžiagoms, turinčioms per daug anglies kiekį, suvirinant suvirinimo dalimis, kai suvirinimas, o dėl suvirinimo dalių pralaidumas yra abipusis dujų įsiskverbimas į vamzdžio viduje ir išorėje ir sunaikina perduodamų dujų grynumą, sausumą ir švarą, todėl prarandamos visos mūsų pastangos.
Apibendrinant galima pasakyti, kad didelio grynumo dujų ir specialiojo dujų perdavimo vamzdynui reikia naudoti specialų didelio gryno nerūdijančio plieno vamzdžio gydymą, norint sukurti didelio grynumo vamzdynų sistemą (įskaitant vamzdžius, jungiamąsias detales, vožtuvus, VMB, VMP) didelio grynumo dujų paskirstyme, užima gyvybiškai svarbią misiją.
Bendra švarios transmisijos ir paskirstymo vamzdynų technologijos koncepcija
Labai grynas ir švarus dujų kėbulo perdavimas su vamzdynais reiškia, kad yra tam tikrų reikalavimų ar kontrolės trims dujų, kuriuos reikia gabenti.
Dujų grynumas: GGAS grynumo priemaišų atmosferos kiekis: dujų priemaišų atmosferos kiekis, paprastai išreikštas dujų grynumo procentine dalimi, pavyzdžiui, 99,9999%, taip pat išreikšta kaip priemaišų atmosferos kiekio tūrio santykis PPM, PPB, PPT.
Sausumas: dujų drėgmės kiekis drėgme arba šlapio kiekio kiekis, paprastai išreikštas rasos tašku, pavyzdžiui, atmosferos slėgio rasos tašku -70. C.
Švara: teršalų dalelių, esančių dujose, skaičius, dalelių dydis µm, kiek dalelių/m3, kad būtų ekspresuojamos, suslėgtam orui, paprastai taip pat išreiškiamos, kiek mg/m3 neišvengiamų kietųjų likučių, apimančių alyvos kiekį.
Teršalų dydžio klasifikacija: Teršalų dalelės, daugiausia reiškia vamzdynų šveitimą, nusidėvėjimą, koroziją, kurią sukuria metalo dalelės, atmosferos suodžių dalelės, taip pat mikroorganizmai, fagai ir drėgmę turintys dujų kondensacijos lašeliai ir kt.
a) Didelės dalelės - dalelių dydis virš 5 μm
b) Dalelė-medžiagos skersmuo tarp 0,1 μm iki 5 μm
c) Ultra-mikro dalelės-dalelių dydis mažesnis nei 0,1 μm.
Siekiant pagerinti šios technologijos taikymą, kad būtų galima suvokti dalelių dydžio ir μm vienetų supratimą, numatytas specifinės dalelių būklės rinkinys, skirtas atskaitai
Toliau pateiktas konkrečių dalelių palyginimas
| Vardas /dalelių dydis (µm) | Vardas /dalelių dydis (µm) | Pavadinimas/ dalelių dydis (µm) |
| Virusas 0,003–0,0 | Aerozolis 0,03-1 | Aerozolizuotas mikrodropetas 1–12 |
| Branduolinis kuras 0,01–0,1 | Dažai 0,1–6 | Fly Pelenai 1-200 |
| Anglies juoda 0,01–0,3 | Pieno milteliai 0,1–10 | Pesticidas 5-10 |
| Dervos 0,01–1 | Bakterijos 0,3–30 | Cemento dulkės 5-100 |
| Cigarečių dūmai 0,01–1 | Smėlio dulkės 0,5–5 | Žiedadulkės 10-15 |
| Silikonas 0,02–0,1 | Pesticidas 0,5–10 | Žmogaus plaukai 50–120 |
| Kristalizuota druska 0,03–0,5 | Koncentruotos sieros dulkės 1–11 | Jūros smėlis 100–1200 |
Pašto laikas: 2012 m. Birželio 14 d